规范详解：氮气吹扫
大家好，我在网上看到2个微信公众号发布的一个2013年发生在无锡的火灾，发生在海力士公司M01生产大楼的F04车间二层，火灾主要烧毁晶圆制造设备，厂房，以及位于5层露天区的环保系统，造成财产损失巨大，约为10亿美元，导致DRAM生产线全面停产，全球DRAM存储芯片价格大幅上涨42%。
起火原因：TV23号气柜最上层控制箱内吹入的保持正压的氮气错接为氢气，氢气喷出在控制箱内形成爆炸性混合物，遇静电火花产生爆燃，引起火灾。
在微信公众号的文章中，我看到了导致事故原因的其中一项是没有进行“氮气吹扫”的检查。
我在各个规范中以“氮气吹扫”为关键词检索条文，检索出下面3本规范中提及“氮气吹扫”内容的条文进行展示（部分规范未展示）。
一、《特种气体系统工程技术规范 》GB50646-2011
4.1一般规定
4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置：
1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格；
2 气体分配用阀门箱、阀门盘；
3 辅助氮气吹扫系统；
4 尾气处理装置。
条文说明
4.1.1～4.1.2 特种气体输送系统是电子工厂中危险性最大的设施或场所，一旦特种气体系统发生泄漏都可能造成人员、厂房、设备的严重损失。如特种气体中的硅烷为自燃性，一旦泄漏就会与空气中的氧气发生剧烈反应，开始燃烧。砷烷为剧毒性，微量泄漏就可能造成人员的生命危险。这些显而易见的危险，对于系统设计的安全性要求就十分严格。
特种气体输送系统应保证生产工艺设备对流量、压力、温度等的工艺参数要求。
为了精确控制流量、压力、温度等参数，在气源一端一般应配置高精度的流量计、压力变送器、电子秤、温控器等。对于大宗特种气体系统，不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑特种气体经过调压阀减压后的焦耳-汤普逊效应。
一般而言，气体减压后，温度会降低，甚至液化，这会造成输送压力的不稳定以及管路系统的损坏。
因此需要考虑在减压前对气体进行预热。在管路及其附件的材质选择、管路催扫、测试检验等每一个环节应采取措施，使特种气体工艺的设计满足电子工厂生产工艺的要求。
例如在更换钢瓶后，可能有一段管路被外界气体污染，所以要求管路设计应满足对此段管路以氮气进行反复冲吹，使其符合供应质量的要求，为此，特种气体工艺系统应将钢瓶置于气瓶柜内或气瓶架上，并在需要特种气体的生产工艺设备临近处设置阀门箱、阀门盘，辅助氮气吹扫系统、尾气处理装置，以保证特种气体系统的安全和工艺对特种气体质量的要求。
5.1.5 硅烷系统应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。
12.5.2 特种气体管道连接应符合下列规定：
1 管道连接应使用自动轨道氩弧焊，所用氩气纯度不得小于99.999%,焊接用气体应加装可调节流量计显示气体流量，内保护气应装压力计监测管内压力；
2 工作人员应穿戴洁净服、洁净口罩、洁净无尘手套在洁净室内进行下料、焊接、预制等各项操作，不得用裸手接触管道的内壁；
3 管外径小于等于12.7mm的管道切割可使用不锈钢管切管器，切割后应以平口机处理管口，并用专用倒角器去除管口内外毛刺，切口端面应垂直、不变形，满足不加丝自动焊要求。不得使用塑料管割刀替代；
4 平口机加工余量为壁厚的1/10～1/5，加工时用高纯氮气吹扫。加工后将切口向下，并在另一端用高纯氮气快速吹扫，不得将刚切割的管口向上；
5 管外径大于12.7mm的管道切割应采用不锈钢管洁净专用切割机，切割时不得使用润滑油；切口端面应垂直、无毛刺、不变形；满足不加丝自动焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；
6 管道切管作业时，应在管内通入高纯氮气，并不得损伤管道外壁；
7 管道倒角作业时，不应损伤管道内壁，并不得采用什锦锉对管道进行倒角；
8 管道吹扫完毕，应使用不产尘的洁净布沾上异丙醇或酒精将切口部清洗干净，必须迅速用洁净防尘帽或洁净纸胶带将管道口封堵；
9 配管切割结束后，剩余管材应以洁净防尘帽封堵后装入包装袋中；
10 对接焊口应确保接口处两侧的管道中心在同一直线上，管线不得在焊口的位置弯曲；
11 焊接过程中应保持管道、管件处于静止状态，焊接电源必须采用稳定的专用电源并加装稳压器；
12 管道预制焊接总长度不应超过12m，预制时应放置在专用支座上，支点数量不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点；
13 大口径特种气体管道焊接前应先采用手工氩弧焊机进行不加丝点焊预连接，点焊时管内应通入高纯氩气进行保护，点焊后应对焊点进行洁净处理，采用自动焊接对准装置除外。
二、《钢铁冶金企业设计防火标准》 GB50414-2018
6.13.5 使用燃气的设施和装置应符合下列规定：
1 当燃烧装置采用强制送风的烧嘴时，应在空气管道上设置泄爆阀；
2 使用氢气的热处理炉应设置氧气分析仪以及显示和报警装置、氢气供应自动切断装置、氮气吹扫放散装置；
3 使用燃气的炉、窑点火器宜设置火焰监测装置；
4 钢材切割点采用乙炔气体时，应设置岗位回火防止器；采用其他燃气介质时，宜设置岗位回火防止器；
5 炼钢连铸工序用于切割的氧气、乙炔、煤气或液化石油气的管道上宜设置紧急切断阀。
三、《细水雾灭火系统技术规范》 GB50898-2013
4.4.10 系统调试合格后，应按本规范表D.0.6填写调试记录，并应用压缩空气或氮气吹扫，将系统恢复至准工作状态。