台积电5nm厂突发事故!
部分产线停摆!传台积电5nm晶圆厂出现气体污染事故
联合报7月30日报道,台积电先进制程的南科18a厂,因部分来自厂商供应氧体疑似受到污染,7月29日晚间部分产线停摆。台湾媒体,此次事故造成重大影响。
台积电表示,已实时调度其他气体供应,此现象对产线并无造成显著影响,芯片仍正常生产。不过30日上午供应商全数被挡在厂区外,且消息传出30日12时台积电18厂举行生产会议。
据经济日报消息,7月30日上午,厂区人员出入频繁但都三缄其口、不愿受访发表意见;台机18厂各货运以及人车陆续进出、上午厂区后方有大量水汽排出。
台媒称,行业人士担心,由于超标的气体一直输送到产线,恐怕会有报废品问题,且由于台积电的晶圆18厂所负责的5nm晶圆,是苹果iPhone的重要零组件,而随着新款iPhone上市在即,是否会对iPhone生产及供货造成问题,都还有待观察。
而台积电2019年在南科晶圆14B厂也曾因为光阻原料造成晶圆良率异常,报废上万片芯片并重做,还因此使当年第一季营收减少约5.5亿美元,调降第一季财测,这次气体供应出问题,是否会造成晶圆报废,后续影响还有待持续观察。