新竹市亚东工业气体公司气体火灾
台湾竹科位于力行五路的亚东气体于10点20分发生起火事件,火势与浓烟密布,消防人员与消防车纷抵达现场救灾。竹科管理局则表示,亚东气体公司为变压器故障起火。
图源:苹果新闻网
因火势十分猛烈,浓烟密布,现场多辆消防车出动救灾,传出竹科也出现大规模跳电,目前火警详细原因及是否有伤亡情况仍待厘清。
台积电、联电等半导体业晶圆厂制程需要用到的氮气、氨气、氢气,还有制程中CVD、Etch会用到特殊气体,亚东均有供应。是否会影响到半导体的气体供应成为外界关注的重点。
对此,台积电、联电、世界先进先后紧急回应,表示由于压降时间非常短,产线未受影响,目前生产一切正常。
力积电表示,有加装不断电系统的机台,随即马上启动,但未加装的机台受到约80多毫秒压降的影响,实际的报废晶圆片还在评估中,但依照过去经验来看,通常影响不大,且认为明天应该都会恢复正常。
现场救灾人员表示,这是多年来竹科最严重的火灾案,因变压器故障引发爆炸起火,内中有很多绝缘油,这非常难灭,目前约动员1百多个消防人员救灾中,整栋厂房尚在燃烧中。据了解,目前没有传出有人员伤亡。