台湾液化空气合资公司突发大火

据台媒报道,今日上午10点20分,位于中国台湾新竹科学园区的亚东气体发生起火事件。火势在上午11时许一度变得十分猛烈,整栋厂房都被大火及浓烟吞噬。根据当地居民说法,疑似听到3声爆炸声,后续工厂就不断冒出火光和浓烟,甚至数公里外都看得见。

气体圈子
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亚东气体指出,目前工厂停工、无人员伤亡,目前也没有供应气体,无气体扩散疑虑,但因火势燃烧超过1小时,厂房RC结构恐怕受损,还需要待火势扑灭后,才能确认是否有倒塌疑虑,以及厘清起火原因。

台积电、联电等半导体业晶圆厂制程需要用到的氮气、氨气、氢气,还有制程中CVD、Etch会用到特殊气体,亚东气体均有供应,是否会影响到半导体的气体供应,有待灾损的情况而定。

现场救灾人员表示,这是多年来竹科园最严重的火灾案,因变压器故障引发爆炸起火,内中有很多绝缘油,这非常难灭,目前约动员1百多个消防人员救灾中,整栋厂房尚在燃烧中。

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外传因亚东气体大火造成竹科大规模停电?对此,竹科管理局表示,亚东气体厂区内变电器发生火灾,连带影响竹科发生C级压降,目前警消人员已紧急前往灌救和处理。据台电压降等级分类,C级压降是压降持续时间落于0.05秒到1.0秒之间的压降事件。

关于当日上午发生的短暂压降,世界先进回复说,公司部分机台有停机进行检查,目前已陆续复机中,对生产影响有限。力积电表示,有加装不断电系统的机台,随即马上启动,但未加装的机台受到约80多毫秒压降的影响,实际的报废晶圆片还在评估中,但依照过去经验来看,通常影响不大,且认为明天应该都会恢复正常。台积电、联电则表示,由于压降时间非常短,产线未受影响,目前生产一切正常。


亚东气体(Air Liquide Far Eastern) 是由法国液化空气集团与远纺集团于1987年在台湾成立的合资公司。2020年,法液空集团宣布投资2亿欧元分别在台湾的台南和新竹科学园建设工厂,包括为新竹科技园的一些逻辑IC芯片研发工厂供气。据悉,法液空通过其控股的远东气体在新竹建设两个大型工厂主要生产高纯氮气和氩气,新增12万标准立方米/小时的高纯氮气。